靶盘材料有3类：纯钨、铼钨合金和钼基或石墨基的铼钨合金。纯钨靶抗热胀性差，易出现龟裂。现在采用铼钨合金（含10%~20%铼）做靶基，制成钼基铼钨合金复合靶及石墨基铼钨合金复合靶，铼钨合金靶面品粒细致，抗热胀性高，再结晶温度高，使靶面龟裂、粗糙情况减轻。