洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置自动喷水灭火系统时，宜采用预作用式自动喷水灭火系统。洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置固定灭火设施时，除设置水灭火系统之外，目前较为广泛使用的还有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等气体灭火系统。二氧化碳使用不当会使人窒息，不能用于有人的场所，而且其冷却作用较大，对精密仪器会产生一定影响。